사업분야

삼염화붕소 (BCI₃) (준비중)

제품특징

반도체 공정, 디스플레이(LCD 및 OLED) 패널공정에 사용되는 Metal, Al 배선의 etching(식각) 공정용 특수가스, 주로 Cl₂와 함께 사용됨

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