전자소재사업부
반도체와 디스플레이(OLED, LCD 등) 산업에 사용되는 5N(99.999%) 이상의 고순도 제품으로
당사만의 오랜 기술력을 바탕으로 최고의 품질로 생산하고 있으며 의약용과 ELS 등
2차 전지 산업에도 활용되고 있습니다.
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Materials
Business Division

고순도염소 (Highpurity Cl2) 01
무색투명의 액체로 냉수에 용해되고 열에 의해 분해되며,
우수한 염소소독성을 가지고 있고, 강한 산화, 표백, 살균 작용을 나타낸다.
반도체 및 디스플레이의 Etching과, 제약, 고품질 Engineering Plastic 등에
사용된다.

고순도 염화수소 (Highpurity HCl) 02
무색투명의 유독성 액체로 99.999% 이상의 순도로 정제되어,
반도체 및 디스플레이 웨이퍼의 세정, 식각(etching) 공정에서 핵심 소재로
사용 된다.

고순도 아산화질소 (N₂O) 03
아산화질소는 다른 말로 소기(笑氣) 가스라고도 하여, 발화성은 없으며,
약간 달콤한 향이 있는 무색 가스이다. 디스플레이(OLED) 용으로 대량 소요된다.


고순도 염산 (High-purity hydrochloric acid) (준비중) 05
반도체 웨이퍼의 세정에 사용되는 고순도 케미칼로
과산화 수소용액과 혼합하여 사용됨

삼염화붕소 (BCl₃) (준비중) 06
반도체 공정, 디스플레이(LCD 및 OLED) 패널공정에 사용되는
Metal, Al 배선의 etching(식각) 공정용 특수가스, 주로 Cl₂와 함께 사용됨

고압가스 용기 재검사 및 내면처리 07
5N(99.999%)은 물론 6N(99.9999%) 이상의 제품을 안정적으로
공급하기 위하여 폐가스처리와 용기의 내면처리, 잔가스처리 시설을 완비하였고,
국내 ·외 검사 기준(KGS,DOT)에 적합한 최신 재검사 시설을 갖추고 있습니다.


