삼불화질소 (NF3)
제품특징
색깔과 냄새가 없는 비활성 기체이며 강한 독성을 가지고 있다. 반도체 및 디스플레이용으로 사용되는 고순도 가스이다.
적용용도
- LCD, OLED 및 반도체 공정 장비 내 챔버 세정용으로 사용된다.
- 실리콘 웨이프의 플라즈마 식각에 이용된다.
- 산화제, 유기합성 원료로 사용된다.
- 고 에너지 화학레이져 및 전기 산업 분야에서 불소원으로 사용된다.
출하형태
Tube Trailer, Bottle(47L)
제품물성
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물질명 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) 분자식 NF3 분자량 71 일반명 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) CAS No. 7783-53-2 -
독성물질등록번호 QX1925000 유럽연합 번호 232-007-1 CCRIS 번호 해당자료 없음 유전독성 번호 해당자료 없음 발암성 번호 해당자료 없음
제품의 규격
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항목 단위 규격 N2O ppm(v/v) 99.999 이상 O2 ppm(v/v) 5.0 이하 N2 ppm(v/v) 5.0 이하 CF4 ppm(v/v) 40.0 이하 N2O ppm(v/v) 5.0 이하 -
항목 단위 규격 HF ppm(v/v) 1.0 이하 H2O ppm(v/v) 1.0 이하 CO ppm(v/v) 5.0 이하 SF6 ppm(v/v) 2.0 이하 CO2 ppm(v/v) 5.0 이하